東北大／酸化ガリウムウエハのスタートアップ起業／低コスト量産技術の確立目指す

東北大学は１７日、酸化ガリウムウエハの低コスト量産を目指す東北大発のスタートアップ、ＦＯＸが起業したと発表した。東北大と東北大発スタートアップのＣ＆Ａが共同開発した貴金属フリーの単結晶育成技術を用いるため、製造コストを既存の製造方法の１００分の１に低減でき、デバイス製造のトータルコストの大幅削減が期待できる。半導体グレードウエハの大口径化技術の開発を進め、２０２８年度中に６インチウエハの量産技術の...